近年来，随着行业内相关企业的不断投入，多晶硅制备不断向冷氢化技术、还原炉大型化、规模扩大的方向发展，从而促使多晶硅生产成本不断降低。具体情况如下：
 

A.冷氢化技术：冷氢化合成反应温度为550℃，由于反应器中同时发生吸热反应和放热反应，放热反应释放的热量被吸热反应吸收，其反应热利用率较高，因此冷氢化工艺综合电耗较低，同时，其一次三氯氢硅合成效率比热氢化工艺高，达到25%。
 

B.还原炉大型化：多晶硅还原电耗约占综合电耗的60‐70%，约占综合生产成本的25‐35%，是最主要的能耗工艺环节，同时也是影响实际产量最核心的工艺环节。目前，多晶硅还原炉已由初期的4 对棒、9 对棒、12 对棒逐步发展为24对棒、36 对棒占主流，同时，行业内优势企业已运行40 对棒还原炉，并着手投入研发48 对棒还原炉。
 
C.规模扩大：为提高固定资产投资效率，行业内企业逐步加大投资规模，依托规模效应，从而大幅降低单位建设成本。
 

此外，国内多晶硅厂商还通过不断提高设备的国产化率，从而降低固定资产投资成本，从而降低生产成本。如江苏中能一期1500 吨产能完全采用进口设备，而从二期开始便逐步采用国产设备，到三期15000 吨产能建设时，设备国产化率已达80%。