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混合光电子集成技术
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已阅：1436 2012-6-13 8:53:47 |
夹杂集成的光电子集成回路中光子器件和电子器件依据各自器件的资料构造和制造工艺的分歧辨别制造在分歧的芯片上，经过焊接、封装等技能固化组合在一同。夹杂集成的光电子集成回路具有器件优化水平高，产物制品率高，可充沛发扬光子器件和电子器件的功能，选择功用器件灵敏等长处，集成后的OEIC体积小、功用多、功能大大进步，然则夹杂集成方法的集成度很低，很难完成大规划的出产，并且价钱较高，在必然水平上限制了技能的开展和使用。近年来，关于集成光路的研讨，以美国、日本、欧洲为中间，活着界各地继续高涨。外延发展和精密加工技能都获得了长足发展，并以这些技能为支柱，根本确立了用各类资料制造光波导的办法，无源器件、有源器件制造中所呈现的问题也一一获得处理。各类光学器件曾经到达了较高的功能目标。然则，在分立光电子器件的夹杂集成上，还存在很多研讨课题需求进行深化研讨。
在工艺上以薄膜技能为根底的光电子技能，不断对所用的资料进行着深化的研讨。光波导研制方面，追求低损耗以及合用于集成的光波导资料不断是研讨的重点内容之一。玻璃合适作为光波导资料运用，应用其热光效应还可以制造开关等有源元件。LiNbO3光波导因为具有优越的电光、声光和非线性等特征成为当时光波导研讨中的常用资料。LiNbO3可以很好地用于1.3μm的波长，然则在短波长，LiNbO3存在着光毁伤和DC漂移问题，器仵的特征遭到限制。跟着集成光电子技能的开展，Si等III－V族化合物资料和聚合物基资料的研讨将惹起更多研讨者的存眷。
夹杂集成光路必需和激光二极管或光纤耦合，并且需求到达较高的耦合效率。目前最好的耦合办法是直接端面耦正当，效率可达80％以上，但是，在光纤的状况下，必需用硅制造V形沟槽消合器，并且还要将它们衔接起来，这个进程既复杂又难于稳定，因而阻碍了集成光路的适用化。此外，在减小光波导传输损耗、降低散射和改善光调制器的消光比等方面还需求进行很多的研讨。
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